光電設備低頻微振動控制系統介紹

1.行業需求分析

隨著我國城市化進程，市內交通造成的環境振動已經成為影響大型實驗室，光學儀器設備、居民生活舒適性的重要因素。地鐵、輕軌、機動車輛通過軌道、路面將其產生的振動向周圍環境傳遞。

    振動和噪聲是城市軌道交通影響環境的主要方面，隨著近幾年城市軌道的發展，人們對此問題越來越重視，減少軌道交通的振動，降低噪聲，是提高沿線居民生活質量，軌道交通可持續發展的關鍵之一。當列車通過時，如果軌面和車輪踏面絕對平順，則輪軌直接就不會產生振動，噪聲也就處于極微弱狀態。軌道面和車輪踏面存在各種類型的不平順，列車通過時軌道結構和車體都會產生振動。

當列車以一定速度通過軌道時，車輛和軌道都要在空間各個方向產生振動，引起振動強弱的原因有：軌道幾何形狀的靜動不平順；鋼軌頂面波浪形磨損、鋼軌接縫；列車速度大小，車輪踏面擦傷、車輪踏面不圓順等等，由于車輛和軌道這兩個系統振動是一種耦合關系，這種耦合振動最終要通過軌道結構傳遞形成輸出。對于高架結構，通過橋梁墩臺傳遞到地面。對于地鐵，通過隧道周圍的土介質傳遞到地表。軌道結構作為振源，也是振動傳播途徑中一個重要環節，直接影響最終的振動效應。從振源、傳遞因素的角度研究軌道交通減振性能，是最優的解決方案。

城市軌道交通運行路線不可避免地會穿過安裝有精密儀器的廠房、醫院、實驗室等對振動特別敏感的區 域。當振動達到一定強度時,就會影響這些區域中精密儀器的正常使用。

汽車行駛在不平整路面上，車輪將對路面產生附加動荷載,這種動荷載將加速公路路面平整度的衰減，而路面平整度的變差又將使得車輪對路面產生的附加動荷載增加。因此，公路路面不平整度被認為是影響車輛振動響應的主要因素之一。通常假定路面不平整是平穩的、各態歷經零均值的Gaus隨機過程,并用功率譜來描述路面的統計特性。關于路面譜,國內外均作過大量的測試和研究，如國家標準GB7031-86《車輛振動輸入路面平度表示方法》、國際標準化協會制定的150 SCIPWG4等。

隨著我國經濟實力的不斷增強，科研投入的不斷增加，對光學設備、精密儀器、金屬金相等儀器如：光刻機、掃描電鏡、MEMS、能譜儀等的使用領域越來越廣泛，這些精密儀器對使用環境要求極高，其環境振動幅值要求在um，0.1 um這個量級，這些儀器設備一旦被放置在離城市交通比較近的實驗室中，對精密儀器、設備防微振動設計需要迫切解決。

                         光刻機      JEM-f200場發射透射電子顯微鏡

                             MEMS振蕩器能譜儀

二、典型方案

首先需要進行前期測試，然后開始設計系統，我們可以從設置隔振溝、增加基礎質量、低頻微振動控制系統這幾個方面入手，最后進行項目驗收測試。

1、前期測試：

2、系統設計：

主要措施：1）設置隔振溝；

          2）增加基礎質量；

          3）低頻微振動控制系統；

地面載荷譜

                                            振動傳遞關系

3、典型案例-中電54所微波實驗室

三．產品選型 

以上參數為標準型，可以根據客戶要求進行定制設計。